放大圖片 雙溫區退火爐 - 半導體行業 設備 2025年-07月-29 02:19:58 產品概述主要用于半導體行業中芯片轉型退火、擴散等.產品參數主要技術指標最高使用溫度≤500℃恒溫區高溫區長度≥200mm, 溫度均勻性±0.5℃??低溫區長度≥150mm, 溫度均勻性±0.5℃設備尺寸設備尺寸L1800×W600×H1600mm其他參數供電電源三相五線 380V±5%;50~60Hz